[发明专利]一种石英管组件及其真空检验方法有效
| 申请号： | 202010878577.8 | 申请日： | 2020-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN112014028B | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 北京智创芯源科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00;G01N7/00;C30B33/02;C30B29/46 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王晓坤 |
| 地址： | 100095 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了石英管组件及其真空检验方法，该方法包括获得初次真空封接后待检验的石英管组件，石英管组件具有第一真空度，其中，石英管组件包括石英管、位于石英管底部的汞、位于石英管中部的晶片、位于石英管顶部内的石英套管；对石英管组件进行抽真空，得到再次抽真空后的石英管组件的第二真空度；比较第二真空度与第一真空度的大小；若第二真空度不大于第一真空度，则所述石英管组件检验合格。本申请中在得到待检验石英管组件后，对石英管组件进行抽真空处理，得到第二真空度，利用汞挥发对真空的影响来判断石英管与石英套管封接是否严密，当第二真空度不大于第一真空度时，表明石英套管与石英管之间没有缝隙，处于高真空状态，检验合格。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英管 组件 及其 真空 检验 方法 | ||
【主权项】：
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