[发明专利]一种LCD显示屏的光刻涂胶工艺在审
申请号: | 202010880136.1 | 申请日: | 2020-08-27 |
公开(公告)号: | CN111965942A | 公开(公告)日: | 2020-11-20 |
发明(设计)人: | 肖新煌;林钟泉 | 申请(专利权)人: | 晟光科技股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/16 | 分类号: | G03F7/16;G03F7/40;G03F7/26;G02F1/1333 |
代理公司: | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人: | 王依 |
地址: | 233000 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: |
本发明公开一种LCD显示屏的光刻涂胶工艺,涉及LCD显示屏涂胶技术领域,包括下列步骤:步骤一:将待涂胶的玻璃基板进行静电除尘以及去除表面水渍;步骤二:将静电出尘后的玻璃基板传输到涂胶工位内,调整光刻胶涂布参数,将光刻胶均匀涂抹到玻璃基板上;步骤三:涂胶;步骤四:首次预烘烤,烘烤温度控制在115~125℃,烘烤区域相对湿度≤1.5g/m |
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搜索关键词: | 一种 lcd 显示屏 光刻 涂胶 工艺 | ||
【主权项】:
暂无信息
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