[发明专利]一种LCD显示屏的光刻涂胶工艺在审

专利信息
申请号: 202010880136.1 申请日: 2020-08-27
公开(公告)号: CN111965942A 公开(公告)日: 2020-11-20
发明(设计)人: 肖新煌;林钟泉 申请(专利权)人: 晟光科技股份有限公司
主分类号: G03F7/16 分类号: G03F7/16;G03F7/40;G03F7/26;G02F1/1333
代理公司: 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 代理人: 王依
地址: 233000 *** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开一种LCD显示屏的光刻涂胶工艺,涉及LCD显示屏涂胶技术领域,包括下列步骤:步骤一:将待涂胶的玻璃基板进行静电除尘以及去除表面水渍;步骤二:将静电出尘后的玻璃基板传输到涂胶工位内,调整光刻胶涂布参数,将光刻胶均匀涂抹到玻璃基板上;步骤三:涂胶;步骤四:首次预烘烤,烘烤温度控制在115~125℃,烘烤区域相对湿度≤1.5g/m3,然后空冷5min;步骤五:进行二次固化烘烤,烘烤温度130~140℃,空冷至室温;步骤六:然后将步骤S5处理后的玻璃输送至灯光检测区,进行质量检验;通过控制制造过程中的湿度,提高了玻璃基板涂胶的质量,减少了废品率,降低了返修成本。
搜索关键词: 一种 lcd 显示屏 光刻 涂胶 工艺
【主权项】:
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