[发明专利]一种拾取装置有效
| 申请号： | 202010880466.0 | 申请日： | 2020-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN112007754B | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 王守荣;孙田雨;蒋明华;夏康伦;王善鹤;王永来 | 申请（专利权）人： | 合肥维信诺科技有限公司 |
| 主分类号： | B03C1/02 | 分类号： | B03C1/02;C23C14/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 230037 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明实施方式涉及制造技术领域，公开了一种拾取装置，包括：磁化部、与磁化部连接的拾取器；所述磁化部用于磁化所述拾取器；所述拾取器包括弯曲部；所述弯曲部用于吸附金属颗粒物。本发明中提供的一种拾取装置，利用此拾取装置能够去物体(例如掩膜板)表面的金属颗粒物、且极大地降低了损伤物体表面的概率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 拾取 装置 | ||
【主权项】：
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