[发明专利]背照式图像传感器

摘要

本发明提供了一种背照式图像传感器。所述背照式图像传感器中对应于像素区和光学黑体区，半导体基底中分别形成有多个第一沟槽隔离和多个第二沟槽隔离，第一沟槽隔离和第二沟槽隔离均从半导体基底的背面沿远离所述背面的方向延伸且具有相同的深度，而第一沟槽隔离的宽度小于所述第二沟槽隔离的宽度。第一沟槽隔离可以隔离照射到像素区的各像素的入射光，并有助于使入射光发生折射以增加入射光的光程，增加图像传感器的量子效率，而光学黑体区中，较宽的第二沟槽隔离可以有效阻挡来自像素区的散射光进入光学黑体区，有助于提高背照式图像传感器的成像质量和色阶覆盖范围。