[发明专利]方法和控制装置在审
| 申请号： | 202010885648.7 | 申请日： | 2020-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN112442666A | 公开（公告）日： | 2021-03-05 |
| 发明（设计）人： | 拉尔夫·比德尔曼;伯恩德·泰切特;托马斯·迈耶;托尔斯滕·德萨埃克 | 申请（专利权）人： | 冯·阿登纳资产股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/24;C23C14/54;C23C14/06;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 刘明海;胡彬 |
| 地址： | 德国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 在多种实施方案中，操作进行至少第一反应涂覆过程和第二反应涂覆过程的过程组(200，700)的方法可以包括：通过第一反应涂覆过程和通过第二反应涂覆过程来涂覆基底；通过第一涂覆过程的第一操纵变量和第二涂覆过程的第二操纵变量并使用矫正元素(208)对过程组(200，700)进行闭环控制；其中，所述矫正元素(208)使第一操纵变量和第二操纵变量彼此相关，以使它们的控制值互不相同。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 控制 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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