[发明专利]堆积量信息取得装置、成膜装置、开闭装置、成膜方法及电子器件的制造方法在审
| 申请号： | 202010887026.8 | 申请日： | 2020-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN112442662A | 公开（公告）日： | 2021-03-05 |
| 发明（设计）人： | 相泽雄树 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/54;C23C14/56;H01L21/67;H01L51/56 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 邓宗庆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及堆积量信息取得装置、成膜装置、开闭装置、成膜方法及电子器件的制造方法。堆积量信息取得装置取得与从成膜装置内的成膜源放出并堆积在成膜对象物上的成膜材料的堆积量相关的信息，其特征在于，包括：测量部件，所述测量部件具有测量元件，所述测量元件测量与从所述成膜源放出并堆积的成膜材料的量相关联的信息；以及开闭部件，所述开闭部件具有遮蔽部和孔状的开放部，所述遮蔽部使所述测量元件相对于所述成膜源遮蔽，所述开放部使所述测量元件相对于所述成膜源露出，所述开闭部件能够以测量元件通过开放部而以规定的周期露出的方式旋转，开闭部件包括设置在所述开闭部件的外周部且能够识别所述开闭部件是否旋转的旋转识别部。 | ||
| 搜索关键词： | 堆积 信息 取得 装置 开闭 方法 电子器件 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佳能特机株式会社，未经佳能特机株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010887026.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
- 信息记录介质、信息记录方法、信息记录设备、信息再现方法和信息再现设备
- 信息记录装置、信息记录方法、信息记录介质、信息复制装置和信息复制方法
- 信息记录装置、信息再现装置、信息记录方法、信息再现方法、信息记录程序、信息再现程序、以及信息记录介质
- 信息记录装置、信息再现装置、信息记录方法、信息再现方法、信息记录程序、信息再现程序、以及信息记录介质
- 信息记录设备、信息重放设备、信息记录方法、信息重放方法、以及信息记录介质
- 信息存储介质、信息记录方法、信息重放方法、信息记录设备、以及信息重放设备
- 信息存储介质、信息记录方法、信息回放方法、信息记录设备和信息回放设备
- 信息记录介质、信息记录方法、信息记录装置、信息再现方法和信息再现装置
- 信息终端，信息终端的信息呈现方法和信息呈现程序
- 信息创建、信息发送方法及信息创建、信息发送装置
