[发明专利]一种化学机械研磨方法及装置有效
| 申请号： | 202010887033.8 | 申请日： | 2020-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN111993266B | 公开（公告）日： | 2022-05-20 |
| 发明（设计）人： | 郑凯铭 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;张靖琳 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种化学机械研磨方法及装置。所述方法包括将待研磨晶圆的待研磨区域划分为多个子区域；建立研磨垫寿命表，包括子区域在预设研磨压力下研磨垫寿命和研磨速率的对应关系；获取子区域在当前研磨垫寿命下的研磨速率作为补偿研磨速率；选取其中一个子区域作为参考区域，根据参考区域的补偿研磨速率确定参考区域的目标研磨速率；根据目标研磨量得到研磨时间；根据子区域的目标研磨量和研磨时间计算各个子区域的理想研磨速率，分别对子区域的理想研磨速率和补偿研磨速率进行加权平均得到相应子区域的目标研磨速率，按照各个子区域的目标研磨速率对相应的各个子区域进行研磨。根据本发明实施例的化学机械研磨方法及装置，能够提高过程能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械 研磨 方法 装置 | ||
【主权项】：
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