[发明专利]一种半导体测试设备在审
| 申请号： | 202010887213.6 | 申请日： | 2020-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN111999636A | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 傅梅英 | 申请（专利权）人： | 菏泽景月装饰有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/067 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 274000 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体测试设备，其结构包括测试箱、电测器、操控台、维修门、散热孔、放置台、警示灯，测试箱内部上端固定安装有电测器，外环与晶圆的上端外侧表面进行抵触，通过海绵垫对晶圆表面进行保护，接着外环上的支杆往上进行移动，使得撑板在抵触探针上端的底部进行推动，防止抵触探针下端与晶粒之间容易发生过大的挤压，通过抵触罩底部在针体外侧一周与晶圆上表面进行抵触，增加支撑力同时减少抵触面积，防止在晶圆表面留下印痕，密封壳带动了罩体在针体下端往上进行移动，使得针体的下端与晶粒进行接触，同时通过顶部独立的弹簧管套，能够使得多个的针体进行独立的高度调节，防止中部的针体受到的反向作用力过大而发生断裂。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 测试 设备 | ||
【主权项】：
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