[发明专利]基于斐波那契光子筛的变剪切比四波剪切干涉仪有效
申请号: | 202010887578.9 | 申请日: | 2020-08-28 |
公开(公告)号: | CN112013973B | 公开(公告)日: | 2022-06-28 |
发明(设计)人: | 张军勇;张秀平;张艳丽;唐顺兴;朱健强 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01J9/02 | 分类号: | G01J9/02 |
代理公司: | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人: | 张宁展 |
地址: | 201800 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种基于斐波那契光子筛的变剪切比四波剪切干涉仪,包括待测波前、斐波那契光子筛、小孔光阑、第一三维平移台、聚焦透镜、第二三维平移台、图像探测器、第三三维平移台和计算机,本发明从四波横向剪切干涉图中提取两正交方向的差分波前信息,结合波前重构算法,快速实现待测波前的高精度重构;本发明通过斐波那契光子筛实现四波剪切干涉仪剪切比的调节,可提高四波剪切干涉仪的波前检测精度,可扩展四波剪切干涉仪的应用范围,可简化四波剪切干涉仪的组成结构。 | ||
搜索关键词: | 基于 光子 剪切 干涉仪 | ||
【主权项】:
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