[发明专利]一种锁胶阵列引线框架及其在芯片封装件中的应用在审

专利信息
申请号: 202010889854.5 申请日: 2020-08-28
公开(公告)号: CN111987069A 公开(公告)日: 2020-11-24
发明(设计)人: 方兆国;周少明;施英铎 申请(专利权)人: 西安微电子技术研究所
主分类号: H01L23/495 分类号: H01L23/495;H01L23/31
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 李鹏威
地址: 710065 陕西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明一种锁胶阵列引线框架及其在芯片封装件中的应用,该引线框架的衬底表面均匀开设有若干个锁胶孔,锁胶孔之间未开设孔洞的区域用于引线键合。该引线框架在应用时,包括步骤1,将芯片的晶圆减薄,之后背面粘贴DAF膜;步骤2,将芯片粘接在引线框架衬底上;步骤3,对待键合电路进行清洗,将芯片与衬底、芯片与引脚、衬底与引脚,或者芯片之间进行引线键合,得到键合后的电路;步骤4,对键合后的电路进行等离子清洗,之后用塑封料进行塑封,塑封料嵌入到锁胶孔中,形成塑封体,将塑封体进行固化,之后依次进行电镀锡、激光打标、切筋成型,得到单芯片封装件,塑封料贯穿锁胶孔,起到钉扎强化与阻止离层蔓延的作用,提高了产品的可靠性。
搜索关键词: 一种 阵列 引线 框架 及其 芯片 封装 中的 应用
【主权项】:
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