[发明专利]一种锁胶阵列引线框架及其在芯片封装件中的应用在审
申请号: | 202010889854.5 | 申请日: | 2020-08-28 |
公开(公告)号: | CN111987069A | 公开(公告)日: | 2020-11-24 |
发明(设计)人: | 方兆国;周少明;施英铎 | 申请(专利权)人: | 西安微电子技术研究所 |
主分类号: | H01L23/495 | 分类号: | H01L23/495;H01L23/31 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 李鹏威 |
地址: | 710065 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明一种锁胶阵列引线框架及其在芯片封装件中的应用,该引线框架的衬底表面均匀开设有若干个锁胶孔,锁胶孔之间未开设孔洞的区域用于引线键合。该引线框架在应用时,包括步骤1,将芯片的晶圆减薄,之后背面粘贴DAF膜;步骤2,将芯片粘接在引线框架衬底上;步骤3,对待键合电路进行清洗,将芯片与衬底、芯片与引脚、衬底与引脚,或者芯片之间进行引线键合,得到键合后的电路;步骤4,对键合后的电路进行等离子清洗,之后用塑封料进行塑封,塑封料嵌入到锁胶孔中,形成塑封体,将塑封体进行固化,之后依次进行电镀锡、激光打标、切筋成型,得到单芯片封装件,塑封料贯穿锁胶孔,起到钉扎强化与阻止离层蔓延的作用,提高了产品的可靠性。 | ||
搜索关键词: | 一种 阵列 引线 框架 及其 芯片 封装 中的 应用 | ||
【主权项】:
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