[发明专利]一种单晶硅切片的研磨机

摘要

本发明公开了一种单晶硅切片的研磨机，其结构包括有立轨、活动座、分流式研磨装置、升降缸、研磨框、硅片固定装置、过滤罩、集尘罩、支座,本发明具有的效果：将硅片安装在硅片固定装置上，分流式研磨装置在升降缸的带动下与硅片固定装置连接，使硅片研磨过程中产生的上下两端气流，上气流能够对硅片在研磨过程中起到高效的散热效率，避免硅片在研磨中积热，且能够提高硅片研磨的中的均匀性，下气流能够在硅片底部产生负压，结合电磁板和磁板之间产生的磁斥力，能够对硅片起到良好的限位固定作用，且有效防止硅片在研磨中底面或者边沿磨损，生成的两股气流，能够使硅片在研磨中产生的粉末，向集尘罩内部集中回收，避免粉末对环境造成污染。