[发明专利]彩色太阳能电池用叠层膜及制备方法和彩色太阳能电池有效

专利信息
申请号: 202010894037.9 申请日: 2020-08-31
公开(公告)号: CN112038422B 公开(公告)日: 2022-05-27
发明(设计)人: 罗西佳;梅晓东;符黎明 申请(专利权)人: 常州时创能源股份有限公司
主分类号: H01L31/0216 分类号: H01L31/0216;H01L31/18
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 213300 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种彩色太阳能电池用叠层膜及制备方法和彩色太阳能电池,所述叠层膜包括四层介质膜,自下而上依次为第一氮化硅膜、第一氮氧化硅膜、第二氮化硅膜和第二氮氧化硅膜;所述叠层膜的制备方法是将硅片送入PECVD炉管内,分层叠加沉积介质膜;所述彩色太阳能电池包括上述叠层膜。本发明的叠层膜中各层的成分和厚度易于控制,纵向成分均匀,重复性好;具有良好的减反和钝化双重效果;制备方法简单,成膜时间短,降低了生产成本,适用于彩色太阳能电池。
搜索关键词: 彩色 太阳能电池 用叠层膜 制备 方法
【主权项】:
暂无信息
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