[发明专利]一种金属等离激元纳米光学天线的制备方法有效
| 申请号： | 202010896340.2 | 申请日： | 2020-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN112072319B | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 陈一萍;郑朝洪 | 申请（专利权）人： | 泉州师范学院 |
| 主分类号： | H01Q15/00 | 分类号： | H01Q15/00;B82B3/00;B82Y20/00 |
| 代理公司： | 福州君诚知识产权代理有限公司 35211 | 代理人： | 戴雨君 |
| 地址： | 360000 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金属等离激元纳米光学天线的制备方法，属于电化学超表面加工技术领域。所述的金属等离激元纳米光学天线是采用电化学自组装法制备的金属纳米颗粒，为实现基于表面等离激元共振的辐射或非辐射能量传递提供光学耦合平台。传统使用的金属等离激元纳米光学天线主要包括采用电子束光刻或纳米压印光刻等微纳加工技术在金属薄膜上制备的规则的图形化金属阵列，采用纳米PS球掩膜与金属蒸镀相结合制备的金属纳米光栅，采用多孔氧化铝（AAO）模板与金属蒸镀相结合制备的金属纳米颗粒阵列，以及采用金属蒸镀和高温快速热退火制备金属纳米颗粒等方法在半导体上制备，本发明利用电化学方法在半导体材料表面制备金属纳米颗粒，具有操作简单，条件可控，普适性好等优势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 离激元 纳米 光学 天线 制备 方法 | ||
【主权项】：
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