[发明专利]一种ReS2有效

专利信息
申请号: 202010898944.0 申请日: 2020-08-31
公开(公告)号: CN112226744B 公开(公告)日: 2021-07-16
发明(设计)人: 周译玄;罗铭威;徐新龙;黄媛媛;卢春辉;杨丹 申请(专利权)人: 西北大学
主分类号: C23C16/455 分类号: C23C16/455;C23C16/30;C23C16/52;C23C16/54
代理公司: 西安恒泰知识产权代理事务所 61216 代理人: 王孝明
地址: 710069 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种ReS2‑HfS2范德瓦尔斯异质结薄膜的制备方法,包括步骤一,取HfCl4粉末置于温区二中心上游方向,取硫粉置于温区二中心上游方向,取基底置于温区一中心处;步骤二,对第一燃烧管密封并通过第一出气口进行真空处理后,通过第一进气口向第一燃烧管内通入惰性气体和氢气后,对第一燃烧管的各温区进行加热,制备得到HfS2薄膜;步骤三,取ReO3粉末置于温区三中心处,取硫粉置于温区四中心上游方向,将步骤二制得的HfS2薄膜作为新基底置于温区三ReO3粉末左右两侧;步骤四,对第二燃烧管密封并通过第二出气口进行真空处理后,通过第二进气口向第二燃烧管内通入惰性气体和氢气后,对第二燃烧管的各温区进行加热,得到ReS2‑HfS2范德瓦尔斯异质结薄膜。
搜索关键词: 一种 res base sub
【主权项】:
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