[发明专利]CCD图像传感器的输出节点结构及其制作工艺

摘要

本发明公开了一种CCD图像传感器的输出节点结构，包括衬底,所述衬底上设有栅介质层，所述衬底上部设有输出节点注入区，在所述栅介质层上开设有接触孔，在所述栅介质层上还设有多晶硅电极，所述多晶硅电极的下端伸入接触孔中并与输出节点注入区电连接，所述多晶硅电极的上端覆盖有氧化层。本发明中，输出节点注入区和多晶硅电极直接相连，取消了金属铝结构，减少了输出节点电容的组成成分；还可以减小接触孔的尺寸，从而能够相应减少输出节点注入区、多晶硅电极和衬底的面积，进而减小输出节点注入区对衬底的电容和多晶硅电极对衬底的电容，并进一步减小输出节点的电容，提高CCD图像传感器的电荷转换因子。