[发明专利]一种稳定风量风压的设备及其内部设置的压力控制机构在审
| 申请号： | 202010901123.8 | 申请日： | 2020-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN114101212A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 王贝易;孙涛;许东京 | 申请（专利权）人： | 盛奕半导体科技（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B13/00;H01L21/67;F04D27/00 |
| 代理公司： | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 | 代理人： | 赵华 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种稳定风量风压的设备及其内部设置的压力控制机构，通过控制风量和风压达到晶圆表面洁净的目的；包括一种稳定风量风压的设备以及一种压力控制机构；一种稳定风量风压的设备，包括，压力控制机构，风机系统，风道系统，控制系统，机架；压力控制机构设置有多个，多个压力控制机构固定安装在所述机架的上层；每个压力控制机构均与风道系统固定连接；所述风道系统连通所述压力控制机构及风机系统；所述控制系统分别与所述压力控制机构和风机系统电性连接；本发明的有益效果为：代替厂务，为晶圆加工提供充分的换气效率，且比厂务更加精准地控制风压，降低腔室压力波动对工艺的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 稳定 风量 风压 设备 及其 内部 设置 压力 控制 机构 | ||
【主权项】：
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