[发明专利]一种蒸镀坩埚在审
| 申请号： | 202010902626.7 | 申请日： | 2020-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN112030113A | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 林少钦 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L51/56;C23C14/12 |
| 代理公司： | 福州市博深专利事务所(普通合伙) 35214 | 代理人： | 颜丽蓉 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸镀坩埚，包括坩埚本体、加热组件、盖板和用于均匀扩散气体的分散组件；所述盖板具有多个均匀分布的出料孔；所述坩埚本体内具有用于盛装有机材料的容置腔，所述容置腔顶部具有与基板尺寸相匹配的开口；所述加热组件、所述分散组件和所述盖板由下至上依次装设于所述容置腔内。本发明采用面源蒸镀的方式，利用分散组件实现气体分子的均匀扩散，达到提高有机材料利用率的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 坩埚 | ||
【主权项】：
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