[发明专利]一种镜片表面除尘和瑕疵检测装置及方法在审
| 申请号： | 202010906634.9 | 申请日： | 2020-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN112051276A | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 张文强;虞国建 | 申请（专利权）人： | 丹阳市北软自动化工程有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/958;G01N21/88;G01N21/15;B08B15/04;B08B11/00;B08B5/02;H05F3/06 |
| 代理公司： | 南京创略知识产权代理事务所(普通合伙) 32358 | 代理人： | 陈雅洁 |
| 地址： | 212300 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种镜片表面除尘和瑕疵检测装置，包括彼此连接的除尘舱(I)和检测舱(II)；通过提供一种镜片表面除尘和瑕疵检测装置，先是通过上低温等离子体吹枪和下低温等离子体吹枪通过带有等离子的惰性气体将镜片上、下表面的灰尘、杂质、和异物等附着物与镜片的静电消除从而吹离镜片表面，为了防止吹离的附着物再次附着在镜片表面，同时通过高效送风系统吹出的正压洁净风与真空抽气口的负压抽气之间的配合，将除尘箱体内部的附着物有效抽离除尘箱体，从而达到镜片表面在检测前的干扰项的有效去除，避免由于异物的存在而对镜片表面瑕疵的检测造成误判等影响，进一步提高检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镜片 表面 除尘 瑕疵 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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