[发明专利]一种单晶炉的组合套筒及单晶炉在审
| 申请号： | 202010909017.4 | 申请日： | 2020-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN114197034A | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 杨文武;沈福哲 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;胡影 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种单晶炉的组合套筒及单晶炉，所述组合套筒包括：内筒、外筒、环形底盘和套管，所述内筒呈倒锥形，所述内筒的上端与所述外筒的上端连接，所述外筒的下端与所述环形底盘的外缘部密封连接，所述内筒的下端与所述环形底盘的上表面固定连接，所述套管穿设固定于所述环形底盘的环口内。根据本发明实施例的组合套筒，在保持硅熔液固、液气三相交界点稳定的前提下，保证惰性气体有序稳定地从硅熔液表面掠过，在带走一氧化硅气体的同时，可以使硅熔液部分热量向晶棒表面传输，减小了晶棒下端的边缘轴向温度差以及边缘轴向温度差与中心轴向温度差的差值，使其接近于理想值，使得晶棒快速度过缺陷形核长大的温度区间，最终制得高品质的晶棒。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 组合 套筒 | ||
【主权项】：
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