[发明专利]一种基于巯基烯光点击聚合高折射率飞秒激光光刻胶在审
| 申请号： | 202010911112.8 | 申请日： | 2020-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN112051710A | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 曹春;黄宁;匡翠方;刘旭 | 申请（专利权）人： | 之江实验室 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/027 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 邱启旺 |
| 地址： | 310023 浙江省杭州市余*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于巯基烯光点击聚合高折射率飞秒激光光刻胶，该光刻胶包括高折射率硫醇化合物、高折射率丙烯酸酯类单体、双光子吸收剂和光引发剂。本发明在光刻胶体系中同时引入高折射率硫醇化合物和高折射率丙烯酸酯类单体，可以通过改变高折射率硫醇化合物和高折射率丙烯酸酯类单体的组份含量，调节秒激光光刻胶折射率，实现光刻胶折射率与飞秒激光系统折射率匹配，从而保证飞秒激光光斑不失真；可以在飞秒激光的诱导下，发生巯基烯光点击聚合，固化形成不溶性网络聚合物，从而在显影后得到图案。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 巯基 点击 聚合 折射率 激光 光刻 | ||
【主权项】：
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