[发明专利]一种搬运机器人有效
申请号: | 202010911621.0 | 申请日: | 2020-09-02 |
公开(公告)号: | CN112060116B | 公开(公告)日: | 2021-08-24 |
发明(设计)人: | 胡坤宇 | 申请(专利权)人: | 深圳市大族富创得科技有限公司 |
主分类号: | B25J15/00 | 分类号: | B25J15/00 |
代理公司: | 深圳市恒程创新知识产权代理有限公司 44542 | 代理人: | 赵爱蓉 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区福*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种搬运机器人,其结构包括传输带、电机、支臂、夹片手、转动轴、机器人主机,传输带随着电机输出端同步转动,上移块往上进行顶起,抵触板伸出托板轴内部,对晶圆的中心处进行抵触支撑,降低对晶圆的摩擦力,通过支臂对晶圆进行搬运,搬运到检测机上通过电磁块对吸附块进行吸附,通过倾斜块使得滑动轴呈倾斜角度,使得晶圆在限位抵触框内部呈倾斜角度下落到检测机上,防止较薄的晶圆断裂,气流通过传输管传输到固定环内部,固定环内部的气囊膜进行鼓起,通过传导管的传导,确保每个固定环内部的气囊膜均匀的鼓起,从而对晶圆的外沿底部进行承托,减少晶圆的表面产生的摩擦力,降低对晶圆表面造成的磨损。 | ||
搜索关键词: | 一种 搬运 机器人 | ||
【主权项】:
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