[发明专利]一种MEMS麦克风测试分选一体设备在审
| 申请号： | 202010915950.2 | 申请日： | 2020-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN112135234A | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 陈恕华;胡晨光 | 申请（专利权）人： | 苏州搏技光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H04R29/00 | 分类号： | H04R29/00;B65B15/04;B65B51/14;B65B61/06 |
| 代理公司： | 苏州言思嘉信专利代理事务所(普通合伙) 32385 | 代理人： | 邵永永 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS麦克风测试分选一体设备，包括Wafer供料系统、移载系统和测试系统，所述Wafer供料系统包括升降仓、推环组件、提篮和Wafer，且升降仓顶部连接有推环组件，所述推环组件表面连接有提篮，且提篮顶部安装有Wafer，所述移载系统设置于Wafer供料系统的上方，所述移载系统包括台板、X轴模组、Y轴模组、Wafer台、顶针组件、中转载具、入料手臂和左右移载轴。该MEMS麦克风测试分选一体设备通过同时设置Wafer供料系统、测试系统和包装系统达到了对产品的检测和包装，从而解决了现有技术中MEMS麦克风测试环节设备占地面积大、设备成本高、工艺流转风险高的问题，Wafer供料系统的方式，避免了市场上散料入料或Tray中转的方式，减少了MEMS麦克风的供给风险和成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 麦克风 测试 分选 一体 设备 | ||
【主权项】：
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