[发明专利]一种塔板精馏制备超高纯铟新工艺在审
申请号: | 202010915969.7 | 申请日: | 2020-09-03 |
公开(公告)号: | CN111979432A | 公开(公告)日: | 2020-11-24 |
发明(设计)人: | 卢鹏荐;曾小龙;范晨光;黄顼;夏文俊 | 申请(专利权)人: | 武汉拓材科技有限公司 |
主分类号: | C22B58/00 | 分类号: | C22B58/00;C22B9/04;C22B9/02 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 冯子玲 |
地址: | 436032 湖北省鄂州*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种塔板精馏制备超高纯铟新工艺,具体包括以下步骤:S1、打开原料管道阀将4N金属铟通过进料斗输入到石英管内部的高纯石墨坩埚内部;S2、关闭产品釜内部球阀以及压盖上的原料管道阀,打开残料连接管上的残料阀,开启残料分子泵,对残料釜抽真空,抽至釜内真空度≤0.01Pa;本发明涉及精馏技术领域。该塔板精馏制备超高纯铟新工艺,本发明采用真空塔板精馏方法通过连续真空精馏得到7N超高纯铟,该方法感应搅拌加热效率高,采用塔板精馏,控制好回流比,质量达到7N纯度,完全能满足半导体行业需要,采用连续生产,加料不停炉冷却,成本低,污染小、效率高,易于实现规模化生产,在生产过程中不添加化学试剂。 | ||
搜索关键词: | 一种 精馏 制备 高纯 新工艺 | ||
【主权项】:
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