[发明专利]一种新型扩散泵冷却装置在审
| 申请号： | 202010921150.1 | 申请日： | 2020-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN112128149A | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 深圳第三代半导体研究院 |
| 主分类号： | F04F9/00 | 分类号： | F04F9/00 |
| 代理公司： | 北京华创智道知识产权代理事务所(普通合伙) 11888 | 代理人： | 彭随丽 |
| 地址： | 518055 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种新型扩散泵冷却装置，包括：泵体(1)、油锅保温罩(2)、环状冷却水管组(3)、笔直型冷却水管组(4)、线圈型冷却水管(5)、冷却水夹层壳体(6)、环状冷却水管组进水口(7)、环状冷却水管组出水口(8)、冷却水夹层壳体进水口(9)、冷却水夹层壳体出水口(10)、外接冷却水管(11)。本发明提供的冷却装置通过多种冷却水管的设计方式，贴合泵体设计使得其比普通的扩散泵使用的冷却系统冷却效率高，可在短时间内达到冷却效果。通过使用外接冷却水管连接两个冷却部件，使得冷却装置实现水循环冷却，不需要其他冷却方式和化学试剂，不会对环境造成污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 扩散 冷却 装置 | ||
【主权项】：
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