[发明专利]碲化砷靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202010921469.4 | 申请日： | 2020-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN112125670A | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 王鹏飞;曾成亮;吴彩红;文崇斌 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/515 | 分类号： | C04B35/515;C04B35/622;C04B35/645;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 陈丹;张向琨 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本公开提供一种碲化砷靶材及其制备方法。所述碲化砷靶材的制备方法包括以下步骤：步骤S1，混合碲粉和砷粉，得到混合粉末；步骤S2，将混合粉末在氮气或惰性气体氛围中进行两段式加热，冷却，制得三碲化二砷；步骤S3，将三碲化二砷进行破碎筛分，得到的三碲化二砷粉末经真空热压烧结，制得碲化砷靶材；其中，两段式加热包括：第一阶段，将混合粉末以5‑10℃/min的升温速率加热至200‑300℃，保温20‑40min；以及第二阶段，以5‑10℃/min升温速率加热至350‑450℃，保温20‑40min；真空热压烧结的温度为300‑380℃，压力为35‑50MPa。本申请的制备方法能够在保证产品纯度和密度的前提下，使用较低的温度与压力，降低物料的损失与对模具的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 碲化砷靶材 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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