[发明专利]谐振器及其形成方法、滤波器及其形成方法在审
| 申请号： | 202010922826.9 | 申请日： | 2020-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN112039488A | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 王勇涛;王冲;单伟中;蔡敏豪;吴胜凯;顾佳妮 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路制造（绍兴）有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H3/02;H03H9/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 312000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种谐振器及其形成方法、滤波器及其形成方法。通过对下电极层进行厚度测量，以获得下电极层的厚度偏差分布，以及基于相同的频率变化量下，将下电极层的厚度偏差分布转换为压电层的厚度补偿分布，并基于厚度补偿分布对压电层的厚度进行补偿，以补偿由下电极层所产生的频率偏差，如此，即可提高所形成的谐振器在各个位置上的频率高度统一。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振器 及其 形成 方法 滤波器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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