[发明专利]一种用于法布里-珀罗干涉仪透明基板的整平装置有效
| 申请号： | 202010926381.1 | 申请日： | 2020-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN112123743B | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 董新平;闫润瑛 | 申请（专利权）人： | 许昌学院 |
| 主分类号： | B29C53/18 | 分类号： | B29C53/18;B29C53/80;G01B21/30 |
| 代理公司： | 苏州拓云知识产权代理事务所(普通合伙) 32344 | 代理人： | 王超 |
| 地址： | 461000 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于法布里‑珀罗干涉仪透明基板的整平装置，其包括支撑基座、保护壳体、初步整平组件、平面测距组件以及精整平组件，所述支撑基座的上端面安装有初步整平组件，所述初步整平组件通过其上下相对挤压作用对透明基板外表面进行整平工作，使得透明基板外端面光整性偏差恒定在其误差范围内；所述支撑基座的上端面设置有平面测距组件，所述平面测距组件有效对透明基板的局部端面齐平度进行测量，记录并传输其检测数据至精整平组件，且，所述平面测距组件的正上方设置有精整平组件，该所述精整平组件根据检测数据对整平工作面进行精确调整，使得其整平工作面完全适配于透明基板对应外表面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 法布里 干涉仪 透明 平装 | ||
【主权项】：
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