[发明专利]检测光学系统任意波长透射波前的方法有效
申请号: | 202010928541.6 | 申请日: | 2019-06-28 |
公开(公告)号: | CN111999042B | 公开(公告)日: | 2022-06-28 |
发明(设计)人: | 张齐元;韩森;吴鹏;王全召;李雪园 | 申请(专利权)人: | 苏州维纳仪器有限责任公司 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人: | 郁旦蓉 |
地址: | 215123 江苏省苏州市苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: |
本发明提供了一种检测光学系统任意波长透射波前的方法,利用4种波长为λ |
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搜索关键词: | 检测 光学系统 任意 波长 透射 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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