[发明专利]检测光学系统任意波长透射波前的方法有效

专利信息
申请号: 202010928541.6 申请日: 2019-06-28
公开(公告)号: CN111999042B 公开(公告)日: 2022-06-28
发明(设计)人: 张齐元;韩森;吴鹏;王全召;李雪园 申请(专利权)人: 苏州维纳仪器有限责任公司
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02
代理公司: 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 代理人: 郁旦蓉
地址: 215123 江苏省苏州市苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供了一种检测光学系统任意波长透射波前的方法,利用4种波长为λ1~λ4的检测装置分别对光学系统进行检测,再通过波前离散点Hλm(xi,yi)与波长公式计算得到光学系统在波长为λn时的透射波前。本方法均能够应用在单波长系统、消色差系统以及复消色差系统中,从而解决主要的透射式光学系统任意波长波前检测的问题。不仅使得特殊波长的激光干涉仪的检测范围变大,而且当需要检测一些特殊的光学系统时,也不需要使用造价昂贵的特殊波长的激光干涉仪进行检测,节约了检测成本。
搜索关键词: 检测 光学系统 任意 波长 透射 方法
【主权项】:
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