[发明专利]X射线校准标准对象有效
| 申请号： | 202010935088.1 | 申请日： | 2016-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN112388141B | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | J.巴克伦德;M.温德海姆 | 申请（专利权）人： | 阿卡姆股份公司 |
| 主分类号： | B23K15/00 | 分类号： | B23K15/00;B22F3/105;B29C64/153;B29C64/20;B33Y10/00;B33Y40/00;B33Y50/00;B33Y50/02;G01T1/29;H01J37/30;H01J37/305 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 郑浩;姜冰 |
| 地址： | 瑞典默*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于通过测量由将电子射束扫描到参考对象上所生成的X射线信号而在增量制造装置中校准扫描电子射束的X射线标准参考对象，所述参考对象包括：基本上平行并且彼此间隔开地附着的下部和上部板，所述上部板包括多个孔，其中在孔内提供预定的中空图案。 | ||
| 搜索关键词： | 射线 校准 标准 对象 | ||
【主权项】：
暂无信息
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