[发明专利]一种硅片倒角机上的随行清洗槽有效
| 申请号： | 202010935495.2 | 申请日： | 2020-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN112090840B | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 魏运秀 | 申请（专利权）人： | 赣州市业润自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙) 34126 | 代理人： | 朱文军 |
| 地址： | 341003 江西省赣州市赣州经济开发*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅片倒角机上的随行清洗槽，包括矩形的水槽，水槽左侧壁的上端成型有进口，水槽内插设有若干纵向的滚轴，滚轴的两端插接固定在水槽上，滚轴由一组呈倾斜分布的进料滚轴和一组呈水平分布的承托滚轴组成，进料滚轴位于水槽的左侧；所述承托滚轴正前方的水槽前侧壁上成型有出口，承托滚轴之间的水槽上插接有两组推料架，推料架由若干竖直的升降杆组成，升降杆上端通过销轴铰接有导轮，滚轮插设在水槽内，滚轮的圆心分布在同一倾斜面内。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 倒角 随行 清洗 | ||
【主权项】：
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