[发明专利]一种钼铌靶材组件中背板的水道口的抛光工艺有效
| 申请号： | 202010935907.2 | 申请日： | 2020-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN112008508B | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;窦兴贤;王学泽;王青松;刘明健 | 申请（专利权）人： | 合肥江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B29/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 230012 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种钼铌靶材组件中背板的水道口的抛光工艺，所述抛光工艺包括对钼铌靶材组件中背板的水道口进行抛光；所述抛光为采用伞状抛光刷进行抛光；所述抛光中抛光中抛光刷的旋转方向为顺时针；所述伞状抛光刷包括倒圆台形抛光面及围绕其分布的带形抛光面；所述倒圆台形侧面与水平面的夹角为85‑88°，倒圆台形抛光面的底面直径为1.5‑3cm；所述带形抛光面的宽度为0.2‑0.5mm；所述带形抛光面中抛光丝呈辐射分布，分布范围为0‑45°，以水平面为基准。本发明通过抛光工艺及抛光介质的特定选择，使得抛光稳定，抛光后水道口使用寿命延长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钼铌靶材 组件 背板 水道 抛光 工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥江丰电子材料有限公司，未经合肥江丰电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010935907.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
