[发明专利]一种TiC靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202010938803.7 | 申请日： | 2020-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN112323025A | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 胥小勇;颜建师;涂培堤;杨文宏;杨娟娟 | 申请（专利权）人： | 福建瓦能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C4/134;C23C4/137;C23C4/10;C23C4/16 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 李洪波 |
| 地址： | 365000 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种TiC靶材及其制备方法，所述TiC靶材的密度为4.1‑4.6g/cm |
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| 搜索关键词： | 一种 tic 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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