[发明专利]位置调整方法和位置调整装置在审
| 申请号： | 202010939645.7 | 申请日： | 2020-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN112475597A | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 水本由达 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B23K26/064 | 分类号： | B23K26/064;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 乔婉;于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供位置调整方法和位置调整装置，缩短聚光透镜的位置确定所需的时间。该位置调整方法具有：拍摄步骤，在经由聚光透镜而使分划板的图案投影至被加工物的上表面的状态下使聚光透镜沿着包含聚光透镜的规定的光学系统的光轴移动，将聚光透镜定位于光轴上的多个位置，对定位于各位置的情况下的上表面进行拍摄；计算步骤，计算拍摄步骤所得到的各图像的对比度值；预测步骤，根据各图像的对比度值，将在将聚光透镜定位于聚光透镜未被定位的位置的情况下所得到的图像的对比度值进行多项式内插，预测得到对比度值最大的图像的聚光透镜的位置；和位置调整步骤，将聚光透镜定位于预测步骤所预测的得到对比度值最大的图像的聚光透镜的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 位置 调整 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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