[发明专利]MO源管路及其清洗方法有效
| 申请号： | 202010941222.9 | 申请日： | 2020-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN113441487B | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 张海林;黄嘉宏;黄国栋;林雅雯;杨顺贵 | 申请（专利权）人： | 重庆康佳光电技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/032 | 分类号： | B08B9/032;C23C16/455 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 熊永强 |
| 地址： | 402760 重庆市璧*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种MO源管路的清洗方法。该MO源管路包括分别与MO源钢瓶连接的MO进气管路和MO出气管路，MO进气管路经由第一常闭气动阀与载气入口连通，MO出气管路经由第二常闭气动阀与载气入口连通，第一常闭气动阀的进气口和第二常闭气动阀的出气口之间连接有常开气动阀，且MO进气管路和MO出气管路分别与MO真空管连接。该清洗方法包括以下步骤。关闭连接在MO源钢瓶和MO进气管路之间的MO进气手阀以及连接在MO源钢瓶和MO出气管路之间的MO出气手阀。用连通气管短接常开气动阀。向载气入口通入第一清洗气体并利用第一清洗气体清洗MO源管路。更换MO源钢瓶，当MO源管路的漏率满足预设条件时，再次清洗MO源管路，然后移除连通气管。 | ||
| 搜索关键词： | mo 管路 及其 清洗 方法 | ||
【主权项】：
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