[发明专利]研磨试剂及其制备方法、化学机械研磨方法及其装置在审
| 申请号： | 202010944129.3 | 申请日： | 2020-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN114227527A | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 申埈燮;张月;杨涛;卢一泓;刘青 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司 |
| 主分类号： | B24B37/11 | 分类号： | B24B37/11;B24B37/34;B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667 | 代理人： | 赵永刚 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种研磨试剂及其制备方法、化学机械研磨方法及其装置，其中，研磨试剂包括：研磨液和粘结剂；所述粘结剂用于提高所述研磨液的粘度；所述研磨试剂的粘度不小于40cP。本发明通过将研磨液与粘结剂结合，能够保证研磨试剂的粘度，从而能够在旋涂的过程中提高研磨液旋涂的均匀性，并能够减少研磨液的浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 试剂 及其 制备 方法 化学 机械 装置 | ||
【主权项】：
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