[发明专利]一种砷掺杂三氧化二锰靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 202010953109.2 | 申请日： | 2020-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN112195446B | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 文崇斌;朱刘;童培云;吴彩红;曾成亮;余芳 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C29/12;C22C1/05 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种砷掺杂三氧化二锰靶材的制备方法，包括以下步骤：（1）将AsMn粉末和Mn |
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| 搜索关键词： | 一种 掺杂 氧化 二锰靶材 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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