[发明专利]一种双向液态源蒸发CVD系统

摘要

本发明公开了一种双向液态源蒸发CVD系统，包括蒸发装置主体，所述蒸发装置主体的上方安装有加热炉和石英外管；双向液态源蒸发CVD系统是通过双向双回路的方式，将液态源蒸发后的汽态源分别从第一进出座和第二进出座分次输入，通过第一进出座和第二进出座的输入保证沉积内管中汽态源充分留存，能够充分反应；将保护气体通过预热装置预热到液态源蒸发温度，保护石英外管内部的汽态源不会遇冷后凝固，通过触摸屏控制加热炉在滑轨上左右横向移动，可快速定位沉积内管中材料沉积区并进行快速加温，使得沉积区的材料受热变成汽态；此法相对一般工艺而言液态源蒸发成汽态更纯，裂解后杂质少，所制得的薄膜或材料质量更高。