[发明专利]检测物体结构的方法和实行该方法的设备在审
| 申请号： | 202010957859.7 | 申请日： | 2020-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN112484658A | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | B.M.穆特;D.塞德尔;C.休斯曼;U.马特杰卡 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01N21/84 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 当检测物体结构时，以来自至少一个优选的照明方向的至少部分相干光源的照明光，最初照明物体的至少一个部分。通过对在检测平面中由所照明的部分衍射的照明光的衍射强度进行空间分辨检测，记录所照明的部分的至少一个衍射图像。使用迭代方法，从至少一个记录的衍射图像重构物体结构的至少一个部分。在此，从迭代起始值开始，计算出原始物体结构的迭代衍射图像，并且在每一次迭代步骤中将所述原始物体结构与所记录的衍射图像进行比较。通过从要检测的物体结构的原始物体结构开始，采取迭代起始值，原始物体结构由与剩余检测方法无关的迭代起始值确定方法获得。这产生了其中以给定准确度将物体结构的检测设计成不敏感的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 物体 结构 方法 实行 设备 | ||
【主权项】：
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