[发明专利]一种空间用微气体流量控制器标定系统及方法有效
| 申请号： | 202010958830.0 | 申请日： | 2020-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN112097868B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 胡向宇;王钦惠;孙迎萍;李增科;刘泽;崔梧玉 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01F25/10 | 分类号： | G01F25/10 |
| 代理公司： | 北京之于行知识产权代理有限公司 11767 | 代理人： | 吕晓蓉 |
| 地址： | 730013 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及测量标定技术领域，具体而言，涉及一种空间用微气体流量控制器标定系统及方法，包括：试验箱、真空计量罐以及真空泵，其中：试验箱内部包括依次连接的储气瓶、第一自锁阀、减压阀以及待标定微气体流量控制器；待标定微气体流量控制器通过旋转接点和气路管道与真空计量罐连通；真空泵通过第二自锁阀与气路管道连通，通过第三自锁阀与真空计量罐直接连通。本申请提供了一种真空环境下，温度变化或者不变化时微气体流量更精确的计量方法，消除了管道对流量控制器标定结果的影响，实现了微气体流量控制器设备在真空、变温环境下的标定，为空间用微气体流量控制器标定校准提供了数据。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 空间 气体 流量 控制器 标定 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于兰州空间技术物理研究所，未经兰州空间技术物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010958830.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：输入方法、装置和计算机存储介质
- 下一篇：一种LLC正反激式开关电源
