[发明专利]垂直腔面发射激光器及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202010959119.7 申请日: 2020-09-14
公开(公告)号: CN112038887A 公开(公告)日: 2020-12-04
发明(设计)人: 曾评伟;蔡文必 申请(专利权)人: 厦门市三安集成电路有限公司
主分类号: H01S5/183 分类号: H01S5/183;H01S5/187;H01S5/34;H01S5/042
代理公司: 北京超成律师事务所 11646 代理人: 王文宾
地址: 361100 福建省厦门*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明提供一种垂直腔面发射激光器及其制备方法,属于半导体激光器技术领域。垂直腔面发射激光器包括衬底以及依次形成于衬底上的第一分布式布拉格反射层、第一有源层、穿隧层、第二有源层以及第二分布式布拉格反射层,衬底背离第一分布式布拉格反射层的一侧形成有第一电极,第二分布式布拉格反射层背离第二有源层的一侧形成有第二电极。本发明的垂直腔面发射激光器中的第一有源层辅助第二有源层发光,从而加快谐振腔中的载子补充,提高操作带宽。
搜索关键词: 垂直 发射 激光器 及其 制备 方法
【主权项】:
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