[发明专利]电吸收调制激光器及其制作方法在审
| 申请号： | 202010964555.3 | 申请日： | 2020-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN112072461A | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 梁松;剌晓波 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01S5/10 | 分类号： | H01S5/10;H01S5/34 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘歌 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电吸收调制激光器及其制作方法，其中，该电吸收调制激光器包括：衬底；以及在衬底上依次生长的下脊波导层、中间层和上脊波导层；其中，中间层包括顺次连接的激光器有源材料区、隔离区无源材料区、调制器有源材料区和模斑转换器无源材料区，隔离区无源材料区和模斑转换器无源材料区的带隙波长均同时小于激光器有源材料区和调制器有源材料区的带隙波长。本发明提供的该电吸收调制激光器及其制作方法，可有效提高器件与光纤的耦合效率，同时有利于减少光传输损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 吸收 调制 激光器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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