[发明专利]对中上料装置及纳米压印设备在审
| 申请号： | 202010966651.1 | 申请日： | 2020-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN112051708A | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 冀然 | 申请（专利权）人： | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 山东重诺律师事务所 37228 | 代理人： | 王鹏里 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市城阳区城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提出一种对中上料装置，包括：上料机构，具有可放置基底的叉状的承托部，在承托部上，与基底的接触面上设置有上料固定部，以固定基底，承托部可伸缩用于上料基底；对中定位机构，具有两个对中定位部，两个对中定位部分别位于承托部两侧，呈相对设置，且两个对中定位部可同步向承托部移动，并与基底外边相抵；旋转定位机构，其位于叉状的承托部中心，旋转定位机构具有可旋转的固定部，以及与固定部连接的伸缩部；检测机构，具有检测头，检测到基底上的缺口后，控制所述固定部停止旋转。一种纳米压印设备，采用对中上料装置。本发明能够精确定位基底的边缘和缺口，使晶圆和基底准确定位，提高压印时的准确性以及成品率，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 中上 装置 纳米 压印 设备 | ||
【主权项】：
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