[发明专利]Pd/Ti双层吸气剂薄膜的制备方法和Pd/Ti双层吸气剂薄膜有效
| 申请号： | 202010968218.1 | 申请日： | 2020-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN112342501B | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 张志伟;何平;马永胜 | 申请（专利权）人： | 中国科学院高能物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/16;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 张大威 |
| 地址： | 100049 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提出一种Pd/Ti双层吸气剂薄膜的制备方法和Pd/Ti双层吸气剂薄膜，该方法包括在获取最低本底压强时进行蒸发镀膜，采用45A的第一沉积电流，在200摄氏度～300摄氏度之间的第一沉积温度，在60分钟～90分钟之内的第一沉积时间升华Ti金属丝，从而向被镀表面沉积Ti元素，形成底层薄膜；在完成向被镀表面沉积Ti元素的同时，采用45A的第二沉积电流，在100摄氏度～180摄氏度之间的第二沉积温度，20分钟的第二沉积时间升华Pd金属丝，从而向底层薄膜沉积Pd元素，在底层薄膜的表面形成表层薄膜。能够在制备Pd/Ti双层吸气剂薄膜时避免破坏超高真空，从而兼顾了超高真空的维持和Pd/Ti双层吸气剂薄膜的低激活温度，辅助提升制备设备的泵送速度，提升Pd/Ti双层吸气剂薄膜的制备效果。 | ||
| 搜索关键词： | pd ti 双层 吸气 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
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