[发明专利]一种硅基底制备方法及太阳能电池

摘要

本发明提供了一种硅基底制备方法及太阳能电池，属于光伏技术领域。本发明提供的硅基底制备方法，通过在硅片中两次不同深度的磷扩散，从而灵活调整磷在硅片中的浓度分布，此时，硅基底的表面浓度较高，且表面浓度下降趋势较为平缓，优化了硅片与金属电极的欧姆接触，降低了接触电阻，提高了基于该硅片的太阳能电池的填充因子；体内浓度较低，降低了硅片的体内复合，提高了基于该硅片的太阳能电池的开路电压与短路电流；最后，上述改进没有增加磷扩散过程所需的时间，也没有引入其他制备工艺，便于在现有的规模化生产中应用，改进成本低。