[发明专利]一种铝钕铟锌氧化物旋转靶及其制备方法在审
| 申请号： | 202010971405.5 | 申请日： | 2020-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN112079626A | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 文宏福 | 申请（专利权）人： | 韶关市欧莱高新材料有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/453;C04B35/50;C04B35/622;C23C14/08;C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 罗晓林 |
| 地址： | 512000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种铝钕铟锌氧化物旋转靶的制备方法，包括如下步骤：S1、将氧化铝、氧化钕、氧化铟、氧化锌加入水、粘结剂搅拌均匀、砂磨得到浆料；S2、将步骤S1所得浆料喷雾干燥得到造粒粉；S3、将步骤S2所得造粒粉冷等静压成型，得到旋转靶素坯；S4、将旋转靶素坯精修后脱脂烧结得到烧结坯；S5、将烧结坯与金属背管邦定得到铝钕铟锌氧化物旋转靶；本发明公开了一种铝钕铟锌氧化物旋转靶。本发明制得的旋转靶具有纯度高，密度高，晶粒小的优点，用于G2.5‑G11代线金属氧化物TFT‑LCD及TFT‑OLED。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铝钕铟锌 氧化物 旋转 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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