[发明专利]一种基于出气率的电真空器件的真空度检测方法

摘要

本申请公开了一种基于出气率的电真空器件的真空度检测方法，包括以下步骤：(1)确定电真空器件的出气率q0；(2)建立电真空器件的出气率模型；(3)将步骤(1)确定的出气率q0代入步骤(2)建立的出气率模型，计算得出真空计临界压力值P0；(4)读取真空计的压力值P；(5)将步骤(4)读取的压力值P与步骤(3)计算的真空计临界压力值P0进行比较，判断电真空器件内部真空度是否达到设计值。本申请通过建立电真空器件的出气率模型，实现电真空器件出气率的间接获取，从而实现了电真空器件真空度的检测，本申请解决相关技术中密封的电真空器件真空度变化无法观察的的技术问题。