[发明专利]一种微机械设备的制备方法在审
| 申请号： | 202010975172.6 | 申请日： | 2020-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN112093773A | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 戴维·L·马克斯;森克·阿卡尔 | 申请（专利权）人： | 上海矽睿科技有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/04 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种微机械设备的制备方法，先将MEMS晶圆与封盖面键合后再进行打孔刻蚀而后再与通孔面相键合，具有两个熔合键，MEMS晶圆作为器件层被锚固在两侧之间，为对应的模具提供了更大的刚性；同时在制备过程中对其进行打薄，其与衬底之间较小的间隙和/或更可控的间隙可以缓解颠簸并消除吸气剂的需求，降低了制备成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微机 设备 制备 方法 | ||
【主权项】：
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