[发明专利]原子力显微测试系统及其样品台在审
| 申请号： | 202010975483.2 | 申请日： | 2020-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN112098680A | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 李江宇;明文杰;刘正浩;欧云 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰;但念念 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种原子力显微测试系统及其样品台，所述样品台包括透明本体及设于透明本体上的夹具，透明本体具有一椭球面，样品台还包括一反射层，反射层覆盖于椭球面的表面，透明本体的一侧面设有激光入射点，透明本体的顶面设有检测点，椭球面的长轴的两个焦点分别与激光入射点、检测点重合，从激光入射点入射的激光被反射层反射后从检测点出射。本发明提供的样品台通过在透明本体上设置一椭球面，在椭球面上覆盖反射层，椭球面的长轴的两个焦点分别与位于透明本体的一侧面上的激光入射点、位于透明本体的顶面的检测点重合，使得从激光入射点入射的激光均可以从检测点出射，从而能够对入射激光进行精确对准，实现激光位置可控可调。 | ||
| 搜索关键词： | 原子 显微 测试 系统 及其 样品 | ||
【主权项】：
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