[发明专利]一种铝靶材与铝背板的钎焊方法有效

专利信息
申请号: 202010976235.X 申请日: 2020-09-16
公开(公告)号: CN112122726B 公开(公告)日: 2022-09-30
发明(设计)人: 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;章丽娜 申请(专利权)人: 宁波江丰电子材料股份有限公司
主分类号: B23K1/00 分类号: B23K1/00;B23K1/20
代理公司: 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 代理人: 王岩
地址: 315400 浙江省宁波市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明涉及一种铝靶材与铝背板的钎焊方法,所述铝背板的焊接面设置有第一凹槽,所述第一凹槽内设置有第二凹槽;所述第一凹槽的直径等于所述铝靶材的直径;所述铝靶材焊接面设置有与所述铝背板焊接面第二凹槽相配合的凸起;所述钎焊方法包括如下步骤:(1)对铝靶材的焊接面进行喷砂处理至粗糙度为2‑3μm,对铝背板的焊接面进行阳极氧化处理;(2)向铝背板的第一凹槽和第二凹槽内添加焊料后进行钎焊接,得到铝靶材组件。本发明提供的焊接方法,通过设定特殊的焊接结构并且对焊接面进行特定的处理,实现了铝靶材和铝背板良好的焊接,焊接结合率≥97%,焊接面应力分布均匀,靶材组件使用寿命显著延长。
搜索关键词: 一种 铝靶材 背板 钎焊 方法
【主权项】:
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