[发明专利]一种大尺寸钕铝铟锌氧化物平面靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202010976305.1 | 申请日： | 2020-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN112094103A | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 文宏福;李鹏 | 申请（专利权）人： | 韶关市欧莱高新材料有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/622;C04B35/638;C04B35/64 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 罗晓林 |
| 地址： | 512000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大尺寸钕铝铟锌氧化物平面靶材制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、将氧化钕、氧化铝、氧化铟和氧化锌粉末混合研磨制浆得到混合浆料，用混合浆料进行喷雾造粒得到造粒粉；S2、将步骤S1所得的造粒粉依次进行模压和等静压成型得到靶材素坯；S3、将步骤S2得到的靶材素坯进行烧结得到烧结坯；其中，烧结包括：脱脂、烧成和降温三个阶段；S4、将步骤S3得到的烧结坯经机械加工和邦定得到大尺寸钕铝铟锌氧化物平面靶材；本发明还公开了一种大尺寸钕铝铟锌氧化物平面靶材。本发明采用模压和等静压成型工艺得到靶材素坯，采用脱脂、烧成和降温三个阶段烧结工艺，控制合理的烧结条件，提高了靶材均匀度，提高了大尺寸靶材的成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 钕铝铟锌 氧化物 平面 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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